产品说明: |
AC300大功率程控伺服匀胶机是种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性,最大处理12寸圆晶基片。 |
不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观,工业级别400瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义,同类产品中领先的最大达到 |
50000rpm/s的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。 |
主要特征: |
最新的内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸。 |
7"触屏控制面板操作系统,更方便操作。 |
Telon®/polyethylene“密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。 |
标准配置转速5000rpm,并可根据用户需要进行定制。 |
采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。 |
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,永不生锈,便于清洗。 |
排风和抽气系统位计于载片台之底部(以利于排风效率和匀胶均—性)。 |
透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。 |
技术参数: |
1.最大可处理12英寸(300mm)以下圆晶和超重基片 |
2.转速:20-5000RPM可调(最高转速限制),转速精度:±1RPM |
3.加速度20-10000RPM/S可调(最大加速度限制) |
4.单步旋转时间设定最大3000S,旋转时间分辨率0.1S |
5.可存贮100组,每组100步旋涂程序 |
6.最多可连接4台自动点胶设备(需另行配备) |
7.程序控制模式带正反转晃动功能,带周期运行设置功能 |
8.7”全彩触屏,400W高精度伺服马达驱动,PLC控制 |
9.HDPE内腔,SUS外壳,PC透明盖 |
10.外型尺寸:463(W)*613(D)*306(H) |